4 tommer 6 tommer litiumniobat enkrystall film LNOI wafer
Forberedelsesprosessen for LNOI-materialer er hovedsakelig delt inn i følgende fire trinn
(1) He-ioner ble injisert inn i det X-kuttede litiumniobatmaterialet ved en viss energi, og introdusert i det defekte laget på en viss dybde under overflatelaget av litiumniobat;
(2) Det ioneimplanterte litiumniobatmaterialet er bundet til et silisiumsubstrat med et oksidlag for å danne en bindingsstruktur;
(3) Bindingsstrukturen ble utglødd for å få defektene som ble introdusert ved He-ionimplantasjon til å utvikle seg og aggregere for å danne sprekker. Til slutt ble litiumniobatet separert langs det defekte laget for å danne gjenværende litiumniobatskiver og LNOI-skiver.
Bruksområder og fordeler med LNOI wafer
1--Litiumniobat piezoelektriske filmer (LNOI) har høy piezoelektrisk koeffisient og dielektrisk konstant, som kan konvertere mekanisk energi til elektrisk energi eller elektrisk energi til mekanisk energi. Derfor er det mye brukt innen sensorer, for eksempel trykksensorer, akselerasjonssensorer, temperatursensorer og så videre. I tillegg kan den piezoelektriske litiumniobatfilmen også brukes i akustiske enheter og vibrasjonsenheter, for eksempel piezoelektrisk keramisk transduserkompleks piezoelektrisk keramisk filter.
2-Stabiliteten til litiumniobat piezoelektrisk film er også en av fordelene. På grunn av sin krystallstrukturstabilitet og kjemiske inerthet, kan litiumniobat piezoelektrisk film fungere i høy temperatur, høy luftfuktighet, sterk syre, sterk alkali og andre tøffe omgivelser, med god korrosjonsbestandighet og holdbarhet.
3-Lithium niobate piezoelektrisk film er et nytt piezoelektrisk materiale med utmerket ytelse og stabilitet, og har et bredt bruksutsikt. Med den kontinuerlige utviklingen av vitenskap og teknologi, vil litiumniobat piezoelektrisk film brukes i flere byer, noe som gir mer bekvemmelighet og innovasjon til folks liv
Detaljert diagram
