4-tommers 6-tommers litiumniobat-enkeltkrystallfilm LNOI-wafer

4-tommers 6-tommers litiumniobat-enkrystallfilm LNOI-wafer Utvalgt bilde

Kort beskrivelse:

Litiumniobat har utmerkede elektrooptiske, ikke-lineære og piezoelektriske egenskaper. Ved hjelp av avansert mikro- og nanoprosesseringsteknologi har det blitt gjort omfattende utvikling av integrerte fotoniske enheter basert på litiumniobat-tynne filmer (LNOI) på isolatorer. I fremtiden vil høytytende LNOI-materialer støtte videreutviklingen av LNOI-basert mikronanooptikk, integrert fotonikk og mikrobølgefotonikk. Produksjonen av høytytende LNOI-materialer vil være et viktig skritt i den industrielle anvendelsen av litiumniobat-optoelektroniske enheter.

Send e-post til oss

Funksjoner

Forberedelsesprosessen for LNOI-materialer er hovedsakelig delt inn i følgende fire trinn

(1) He-ioner ble injisert i det X-kuttede litiumniobatmaterialet med en viss energi, og introdusert i defektlaget på en viss dybde under overflatelaget av litiumniobat;

(2) Det ionimplanterte litiumniobatmaterialet er bundet til et silisiumsubstrat med et oksidlag for å danne en bindingsstruktur;

(3) Bindingsstrukturen ble glødet for å få defektene introdusert av He-ionimplantasjon til å utvikle seg og aggregere for å danne sprekker. Til slutt ble litiumniobatet separert langs defektlaget for å danne de gjenværende litiumniobatskivene og LNOI-wafere.

Bruksområder og fordeler med LNOI-wafer

1--Litiumniobat piezoelektriske filmer (LNOI) har høy piezoelektrisk koeffisient og dielektrisk konstant, som kan konvertere mekanisk energi til elektrisk energi eller elektrisk energi til mekanisk energi. Derfor er den mye brukt innen sensorer, som trykksensorer, akselerasjonssensorer, temperatursensorer og så videre. I tillegg kan litiumniobat piezoelektriske filmer også brukes i akustiske enheter og vibrasjonsenheter, for eksempel piezoelektriske keramiske transduserkomplekser og piezoelektriske keramiske filtre.

2. Stabiliteten til litiumniobat piezoelektrisk film er også en av fordelene. På grunn av krystallstrukturstabiliteten og kjemisk inertitet kan litiumniobat piezoelektrisk film fungere i høy temperatur, høy luftfuktighet, sterke syrer, sterke alkalier og andre tøffe miljøer, med god korrosjonsbestandighet og holdbarhet.

3-litiumniobat piezoelektrisk film er et nytt piezoelektrisk materiale med utmerket ytelse og stabilitet, og har et bredt bruksområde. Med den kontinuerlige utviklingen av vitenskap og teknologi vil litiumniobat piezoelektrisk film bli brukt i flere byer, noe som gir mer bekvemmelighet og innovasjon til folks liv.