2 tommer 50,8 mm safirskive C-plan M-plan R-plan A-plan Tykkelse 350 um 430 um 500 um
Spesifikasjon av forskjellige orienteringer
Orientering | C(0001)-akse | R(1-102)-akse | M(10-10) -Akse | A(11-20)-akse | ||
Fysisk eiendom | C-aksen har krystalllys, og de andre aksene har negativt lys. Plan C er flatt, helst kuttet. | R-planet litt hardere enn A. | M-planet er trinnvis sagtannet, ikke lett å skjære, lett å skjære. | A-planets hardhet er betydelig høyere enn C-planets, noe som manifesterer seg i slitestyrke, ripemotstand og høy hardhet; Side-A-planet er et sikksakkplan som er lett å skjære; | ||
Bruksområder | C-orienterte safirsubstrater brukes til å dyrke III-V og II-VI avsatte filmer, for eksempel galliumnitrid, som kan produsere blå LED-produkter, laserdioder og infrarøde detektorapplikasjoner. | R-orientert substratvekst av forskjellige avsatte silisium-ekstrasystemer, brukt i mikroelektroniske integrerte kretser. | Den brukes hovedsakelig til å dyrke ikke-polare/semipolare GaN-epitaksiale filmer for å forbedre lyseffektiviteten. | A-orientert til substratet gir en jevn permittivitet/medium, og en høy grad av isolasjon brukes i hybrid mikroelektronikkteknologi. Høytemperatur superledere kan produseres fra langstrakte krystaller med A-base. | ||
Prosesseringskapasitet | Mønster safirsubstrat (PSS): I form av vekst eller etsing designes og lages nanoskalaspesifikke regelmessige mikrostrukturmønstre på safirsubstratet for å kontrollere lysutgangsformen til LED-en, og redusere differensielle defekter blant GaN som vokser på safirsubstratet, forbedre epitaksikvaliteten, og forbedre den interne kvanteeffektiviteten til LED-en og øke effektiviteten til lysutvinning. I tillegg kan safirprisme, speil, linse, hull, kjegle og andre strukturelle deler tilpasses etter kundens behov. | |||||
Eiendomserklæring | Tetthet | Hardhet | smeltepunkt | Brytningsindeks (synlig og infrarød) | Transmittans (DSP) | Dielektrisk konstant |
3,98 g/cm3 | 9 (mohs) | 2053 ℃ | 1,762~1,770 | ≥85 % | 11,58 ved 300K ved C-aksen (9,4 ved A-aksen) |
Detaljert diagram


