150 mm 200 mm 6 tommer 8 tommer GaN på silisium epilagsskive Galliumnitrid epitaksialskive
Produksjonsmetode
Produksjonsprosessen innebærer å dyrke GaN-lag på et safirsubstrat ved hjelp av avanserte teknikker som metallorganisk kjemisk dampavsetning (MOCVD) eller molekylærstråleepitaksi (MBE). Avsetningsprosessen utføres under kontrollerte forhold for å sikre høy krystallkvalitet og ensartet film.
6-tommers GaN-på-safir-applikasjoner: 6-tommers safirsubstratbrikker er mye brukt i mikrobølgekommunikasjon, radarsystemer, trådløs teknologi og optoelektronikk.
Noen vanlige bruksområder inkluderer
1. RF-effektforsterker
2. LED-belysningsindustrien
3. Trådløst nettverkskommunikasjonsutstyr
4. Elektroniske enheter i miljøer med høy temperatur
5. Optoelektroniske enheter
Produktspesifikasjoner
- Størrelse: Substratdiameteren er 6 tommer (ca. 150 mm).
- Overflatekvalitet: Overflaten er finpolert for å gi utmerket speilkvalitet.
- Tykkelse: Tykkelsen på GaN-laget kan tilpasses i henhold til spesifikke krav.
- Emballasje: Underlaget er nøye pakket med antistatiske materialer for å forhindre skade under transport.
- Posisjoneringskanter: Underlaget har spesifikke posisjoneringskanter som forenkler justering og betjening under klargjøring av enheten.
- Andre parametere: Spesifikke parametere som tynnhet, resistivitet og dopingkonsentrasjon kan justeres i henhold til kundens krav.
Med sine overlegne materialegenskaper og varierte bruksområder er 6-tommers safirsubstratwafere et pålitelig valg for utvikling av høyytelses halvlederenheter i ulike bransjer.
Underlag | 6” 1 mm <111> p-type Si | 6” 1 mm <111> p-type Si |
Epi TykkGj.sn. | ~5um | ~7um |
Epi ThickUnif | <2 % | <2 % |
Bue | +/-45µm | +/-45µm |
Sprekking | <5 mm | <5 mm |
Vertikal BV | >1000V | >1400V |
HEMT Al% | 25–35 % | 25–35 % |
HEMT TykkGj.sn. | 20–30 nm | 20–30 nm |
Insitu SiN-hette | 5–60 nm | 5–60 nm |
2DEG-kons. | ~1013cm-2 | ~1013cm-2 |
Mobilitet | ~2000 cm2/V (<2%) | ~2000 cm2/V (<2%) |
Rsh | <330 ohm/kvadrat (<2 %) | <330 ohm/kvadrat (<2 %) |
Detaljert diagram

