TGV Glass underlag 12 tommers wafer Glassstansing
Glassunderlag yter bedre når det gjelder termiske egenskaper, fysisk stabilitet, og er mer varmebestandige og mindre utsatt for vridninger eller deformasjonsproblemer på grunn av høye temperaturer;
I tillegg tillater de unike elektriske egenskapene til glasskjernen lavere dielektriske tap, noe som tillater klarere signal- og kraftoverføring. Som et resultat reduseres strømtapet under signaloverføring og den generelle effektiviteten til brikken økes naturlig. Tykkelsen på glasskjernesubstratet kan reduseres med omtrent det halve sammenlignet med ABF-plast, og tynningen forbedrer signaloverføringshastigheten og krafteffektiviteten.
Hulldannende teknologi til TGV:
Laserindusert etsemetode brukes til å indusere kontinuerlig denatureringssone gjennom pulserende laser, og deretter legges det laserbehandlede glasset i flussyreløsning for etsing. Etsningshastigheten for denatureringssoneglass i flussyre er raskere enn for udenaturert glass for å dannes gjennom hull.
TGV fylling:
Først lages TGV blindhull. For det andre ble frølaget avsatt inne i TGV-blindhullet ved fysisk dampavsetning (PVD). For det tredje oppnår elektroplettering nedenfra og opp sømløs fylling av TGV; Til slutt, gjennom midlertidig binding, tilbakesliping, kjemisk mekanisk polering (CMP) kobbereksponering, unbonding, og danner en TGV metallfylt overføringsplate.