Premium safirløftepinner Enkrystall Al₂O₃ Waferløftepin
Tekniske parametere
| Kjemisk sammensetning | Al2O3 |
| Hardhet | 9Mohs |
| Optisk natur | Enakset |
| Brytningsindeks | 1,762–1,770 |
| Dobbeltbrytning | 0,008–0,010 |
| Dispersjon | Lav, 0,018 |
| Glans | Glasslegemet |
| Pleokroisme | Moderat til sterk |
| Diameter | 0,4 mm–30 mm |
| Diametertoleranse | 0,004 mm–0,05 mm |
| lengde | 2 mm–150 mm |
| lengdetoleranse | 0,03 mm–0,25 mm |
| Overflatekvalitet | 40/20 |
| Overflaterundhet | RZ0,05 |
| Tilpasset form | begge ender flate, den ene enden rød, begge ender røde, salpinner og spesialformer |
Viktige funksjoner
1. Eksepsjonell hardhet og slitestyrke: Med en Mohs-hardhetsgrad på 9, nest etter diamant, viser safirløftepinner slitasjeegenskaper som dramatisk overgår tradisjonelle silisiumkarbid-, alumina-keramiske eller metalllegeringsalternativer. Denne ekstreme hardheten betyr betydelig redusert partikkelgenerering og vedlikeholdskrav, med levetider som vanligvis er 3–5 ganger lengre enn konvensjonelle materialer i sammenlignbare bruksområder.
2. Overlegen høytemperaturmotstand: Safirløftepinner er konstruert for å tåle vedvarende drift ved temperaturer over 1000 °C uten forringelse, og opprettholder dimensjonsstabilitet og mekanisk styrke i de mest krevende termiske prosessene. Dette gjør dem spesielt verdifulle for kritiske applikasjoner som kjemisk dampavsetning (CVD), metallorganisk kjemisk dampavsetning (MOCVD) og høytemperaturglødesystemer der termisk ekspansjonsforskjell kan kompromittere prosessutbyttet.
3. Kjemisk inertitet: Den enkeltkrystallformede safirstrukturen viser bemerkelsesverdig motstand mot angrep fra HF-syre, klorbaserte kjemikalier og andre aggressive prosessgasser som ofte forekommer i halvlederproduksjon. Denne kjemiske stabiliteten sikrer jevn ytelse i plasmamiljøer og forhindrer dannelse av overflatedefekter som kan føre til waferforurensning.
4. Lav partikkelforurensning: Disse løftepinnene er produsert av defektfrie safirkrystaller med høy renhet (vanligvis >99,99 %), og viser minimal partikkelavgivelse selv etter langvarig bruk. Den ikke-porøse overflatestrukturen og polerte overflaten oppfyller de strengeste kravene til renrom, noe som direkte bidrar til forbedret prosessutbytte i avansert produksjon av nodehalvledere.
Høypresisjonsmaskinering: Ved å bruke avanserte diamantslipings- og laserbehandlingsteknikker kan safirløftepinner produseres med toleranser på submikron og overflatebehandlinger under 0,05 μm Ra. Tilpassede geometrier, inkludert koniske profiler, spesielle spisskonfigurasjoner og integrerte justeringsfunksjoner, kan konstrueres for å håndtere spesifikke utfordringer innen waferhåndtering i neste generasjons fabrikasjonsutstyr.
Primære applikasjoner
1. Halvlederproduksjon: Safirløftepinner spiller en kritisk rolle i avanserte waferbehandlingssystemer, og gir pålitelig støtte og presis posisjonering under fotolitografi, etsning, avsetning og inspeksjonsprosesser. Deres termiske og kjemiske stabilitet gjør dem spesielt verdifulle i EUV-litografiverktøy og avanserte pakkeapplikasjoner der dimensjonsstabilitet på nanometerskala er avgjørende.
2. LED-epitaksi (MOCVD): I galliumnitrid (GaN) og relaterte sammensatte halvlederepitaksiale vekstsystemer gir safirløftepinner stabil waferstøtte ved temperaturer som ofte overstiger 1000 °C. Deres matchende termiske ekspansjonsegenskaper med safirsubstrater minimerer waferbøyning og gliddannelse under den epitaksiale vekstprosessen.
3. Fotovoltaisk industri: Høyeffektiv solcelleproduksjon drar nytte av safirs unike egenskaper i høytemperaturdiffusjon, sintring og tynnfilmavsetningsprosesser. Pinnenes slitestyrke er spesielt verdifull i masseproduksjonsmiljøer der komponentenes levetid direkte påvirker produksjonskostnadene.
4. Presisjonsoptikk og elektronikkbehandling: Utover halvlederapplikasjoner finner safirløftepinner bruk i håndtering av delikate optiske komponenter, MEMS-enheter og spesialsubstrater der forurensningsfri behandling og ripebeskyttelse er avgjørende. Deres elektriske isolasjonsegenskaper gjør dem ideelle for applikasjoner som involverer elektrostatisk følsomme enheter.
XKHs tjenester for safirløftepinner
XKH tilbyr omfattende teknisk støtte og tilpassede løsninger for Sapphire Lift Pins:
1. Tilpassede utviklingstjenester
· Støtte for tilpasning av dimensjonal, geometrisk og overflatebehandling
· Anbefalinger for materialvalg og optimalisering av tekniske parametere
· Samarbeidende produktdesign og simuleringsverifisering
2. Presisjonsproduksjonskapasiteter
· Høypresisjonsmaskinering med toleranser kontrollert innenfor ±1 μm
· Spesialbehandlinger, inkludert speilpolering og kantavfasing
· Valgfrie overflatemodifiseringsløsninger som anti-heftbelegg
3. Kvalitetssikringssystem
· Streng implementering av inspeksjon av innkommende materialer og prosesskontroll
· Fulldimensjonal optisk inspeksjon og analyse av overflatemorfologi
· Levering av testrapporter for produktets ytelse
4. Forsyningskjedetjenester
· Rask levering av standardprodukter
· Dedikert lagerstyring for nøkkelkunder
5. Teknisk støtte
· Rådgivning om applikasjonsløsninger
· Rask respons etter salg
Vi er forpliktet til å tilby safirløftepinner av høy kvalitet og profesjonelle tekniske tjenester for å møte de strenge kravene til halvleder-, LED- og andre avanserte industrier.
