P-type SiC wafer 4H/6H-P 3C-N 6 tommer tykkelse 350 μm med primær flat orientering

Kort beskrivelse:

P-type SiC wafer, 4H/6H-P 3C-N, er et 6-tommers halvledermateriale med en tykkelse på 350 μm og primær flat orientering, designet for avanserte elektroniske applikasjoner. Kjent for sin høye termiske ledningsevne, høye gjennombruddsspenning og motstand mot ekstreme temperaturer og korrosive miljøer, er denne waferen egnet for elektroniske enheter med høy ytelse. P-type doping introduserer hull som de primære ladningsbærerne, noe som gjør den ideell for kraftelektronikk og RF-applikasjoner. Dens robuste struktur sikrer stabil ytelse under høyspente og høyfrekvente forhold, noe som gjør den godt egnet for kraftenheter, høytemperaturelektronikk og høyeffektiv energikonvertering. Den primære flate orienteringen sikrer nøyaktig justering i produksjonsprosessen, og gir konsistens i enhetsfabrikasjonen.


Produktdetaljer

Produktetiketter

Spesifikasjon4H/6H-P Type SiC Composite Substrates Felles parametertabell

6 tomme diameter silisiumkarbid (SiC) substrat Spesifikasjon

Karakter Null MPD-produksjonKarakter (Z karakter) Standard produksjonKarakter (P karakter) Dummy karakter (D karakter)
Diameter 145,5 mm~150,0 mm
Tykkelse 350 μm ± 25 μm
Wafer Orientering -Offakse: 2,0°-4,0° mot [1120] ± 0,5° for 4H/6H-P, på aksen:〈111〉± 0,5° for 3C-N
Mikrorørtetthet 0 cm-2
Resistivitet p-type 4H/6H-P ≤0,1 Ωꞏcm ≤0,3 Ωꞏcm
n-type 3C-N ≤0,8 mΩꞏcm ≤1 m Ωꞏcm
Primær flat orientering 4H/6H-P -{1010} ± 5,0°
3C-N -{110} ± 5,0°
Primær flat lengde 32,5 mm ± 2,0 mm
Sekundær flat lengde 18,0 mm ± 2,0 mm
Sekundær flat orientering Silisium med forsiden opp: 90° CW. fra Prime flat ± 5,0°
Kantekskludering 3 mm 6 mm
LTV/TTV/Bow/Warp ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Ruhet Polsk Ra≤1 nm
CMP Ra≤0,2 nm Ra≤0,5 nm
Kantsprekker av lys med høy intensitet Ingen Kumulativ lengde ≤ 10 mm, enkel lengde ≤2 mm
Hex plater av høy intensitet lys Akkumulert areal ≤0,05 % Akkumulert areal ≤0,1 %
Polytype områder av høy intensitet lys Ingen Akkumulert areal≤3 %
Visuelle karboninneslutninger Akkumulert areal ≤0,05 % Akkumulert areal ≤3 %
Silisiumoverflateriper av lys med høy intensitet Ingen Kumulativ lengde≤1×waferdiameter
Edge Chips High By Intensity Light Ingen tillatt ≥0,2 mm bredde og dybde 5 tillatt, ≤1 mm hver
Silisiumoverflateforurensning med høy intensitet Ingen
Emballasje Multi-wafer-kassett eller Single Wafer-beholder

Merknader:

※ Defektgrenser gjelder for hele waferoverflaten bortsett fra kanten utelukkende området. # Ripene bør sjekkes på Si face o

P-type SiC wafer, 4H/6H-P 3C-N, med sin 6-tommers størrelse og 350 μm tykkelse, spiller en avgjørende rolle i industriell produksjon av høyytelses kraftelektronikk. Dens utmerkede termiske ledningsevne og høye sammenbruddsspenning gjør den ideell for produksjon av komponenter som strømbrytere, dioder og transistorer som brukes i høytemperaturmiljøer som elektriske kjøretøy, strømnett og fornybare energisystemer. Waferens evne til å fungere effektivt under tøffe forhold sikrer pålitelig ytelse i industrielle applikasjoner som krever høy effekttetthet og energieffektivitet. I tillegg hjelper den primære flate orienteringen til presis justering under enhetsfabrikasjon, noe som øker produksjonseffektiviteten og produktkonsistensen.

Fordelene med N-type SiC komposittsubstrater inkluderer

  • Høy termisk ledningsevne: P-type SiC-skiver sprer effektivt varme, noe som gjør dem ideelle for høytemperaturapplikasjoner.
  • Høy nedbrytningsspenning: Kan tåle høye spenninger, og sikrer pålitelighet i kraftelektronikk og høyspenningsenheter.
  • Motstand mot tøffe miljøer: Utmerket holdbarhet under ekstreme forhold, som høye temperaturer og korrosive miljøer.
  • Effektiv kraftkonvertering: P-type doping letter effektiv krafthåndtering, noe som gjør waferen egnet for energikonverteringssystemer.
  • Primær flat orientering: Sikrer presis justering under produksjon, forbedrer enhetens nøyaktighet og konsistens.
  • Tynn struktur (350 μm): Waferens optimale tykkelse støtter integrering i avanserte elektroniske enheter med begrenset plass.

Samlet sett tilbyr P-type SiC wafer, 4H/6H-P 3C-N, en rekke fordeler som gjør den svært egnet for industrielle og elektroniske applikasjoner. Dens høye varmeledningsevne og sammenbruddsspenning muliggjør pålitelig drift i høytemperatur- og høyspenningsmiljøer, mens motstanden mot tøffe forhold sikrer holdbarhet. P-type doping muliggjør effektiv kraftkonvertering, noe som gjør den ideell for kraftelektronikk og energisystemer. I tillegg sikrer waferens primære flate orientering presis justering under produksjonsprosessen, noe som forbedrer produksjonskonsistensen. Med en tykkelse på 350 μm er den godt egnet for integrering i avanserte, kompakte enheter.

Detaljert diagram

b4
b5

  • Tidligere:
  • Neste:

  • Skriv din melding her og send den til oss