Flertråds diamantsagmaskin for SiC safir ultraharde sprø materialer
Introduksjon til diamantsagmaskin med flere tråder
Multitråds diamantsagmaskinen er et toppmoderne skjæresystem designet for bearbeiding av ekstremt harde og sprø materialer. Ved å bruke en rekke parallelle diamantbelagte tråder kan maskinen kutte flere wafere samtidig i en enkelt syklus, noe som oppnår både høy gjennomstrømning og presisjon. Denne teknologien har blitt et viktig verktøy i industrier som halvledere, solcellepaneler, LED-er og avansert keramikk, spesielt for materialer som SiC, safir, GaN, kvarts og alumina.
Sammenlignet med konvensjonell enkelttrådsskjæring, leverer flertrådskonfigurasjonen dusinvis til hundrevis av skiver per batch, noe som reduserer syklustiden betraktelig samtidig som den opprettholder utmerket flathet (Ra < 0,5 μm) og dimensjonal presisjon (±0,02 mm). Den modulære designen integrerer automatisert trådstramming, arbeidsstykkehåndteringssystemer og online overvåking, noe som sikrer langsiktig, stabil og helautomatisert produksjon.
Tekniske parametere for diamantsagmaskin med flere tråder
| Punkt | Spesifikasjon | Punkt | Spesifikasjon |
|---|---|---|---|
| Maksimal arbeidsstørrelse (kvadratisk) | 220 × 200 × 350 mm | Drivmotor | 17,8 kW × 2 |
| Maksimal arbeidsstørrelse (rund) | Φ205 × 350 mm | Tråddrevet motor | 11,86 kW × 2 |
| Spindelavstand | Φ250 ±10 × 370 × 2 akse (mm) | Løftemotor for arbeidsbord | 2,42 kW × 1 |
| Hovedakse | 650 mm | Svingmotor | 0,8 kW × 1 |
| Trådens kjørehastighet | 1500 m/min | Arrangementsmotor | 0,45 kW × 2 |
| Tråddiameter | Φ0,12–0,25 mm | Spenningsmotor | 4,15 kW × 2 |
| Løftehastighet | 225 mm/min | Slammotor | 7,5 kW × 1 |
| Maks. bordrotasjon | ±12° | Slamtankens kapasitet | 300 liter |
| Svingvinkel | ±3° | Kjølevæskestrøm | 200 l/min |
| Svingfrekvens | ~30 ganger/min | Temperaturnøyaktighet | ±2 °C |
| Matingshastighet | 0,01–9,99 mm/min | Strømforsyning | 335+210 (mm²) |
| Trådmatingshastighet | 0,01–300 mm/min | Trykkluft | 0,4–0,6 MPa |
| Maskinstørrelse | 3550 × 2200 × 3000 mm | Vekt | 13 500 kg |
Arbeidsmekanisme for diamantsagmaskin med flere tråder
-
Flertråds skjærebevegelse
Flere diamantvaiere beveger seg med synkroniserte hastigheter på opptil 1500 m/min. Presisjonsstyrte trinser og lukket spenningskontroll (15–130 N) holder vaieren stabil, noe som reduserer sjansen for avvik eller brudd. -
Nøyaktig mating og posisjonering
Servodrevet posisjonering oppnår en nøyaktighet på ±0,005 mm. Valgfri laser- eller synsassistert justering forbedrer resultatene for komplekse former. -
Kjøling og fjerning av rusk
Høytrykkskjølevæske fjerner kontinuerlig spon og kjøler ned arbeidsområdet, noe som forhindrer termisk skade. Flertrinnsfiltrering forlenger kjølevæskens levetid og reduserer nedetid. -
Smart kontrollplattform
Servodrivere med høy respons (<1 ms) justerer dynamisk mating, spenning og trådhastighet. Integrert resepthåndtering og parameterbytte med ett klikk effektiviserer masseproduksjon.
Kjernefordeler med flertråds diamantsagmaskin
-
Høy produktivitet
Kan skjære 50–200 wafere per kjøring, med et snitttap <100 μm, noe som forbedrer materialutnyttelsen med opptil 40 %. Gjennomstrømningen er 5–10 ganger høyere enn for tradisjonelle enkelttrådssystemer. -
Presisjonskontroll
Trådspenningsstabilitet innenfor ±0,5 N sikrer konsistente resultater på ulike sprø materialer. Sanntidsovervåking på et 10-tommers HMI-grensesnitt støtter oppskriftslagring og fjernbetjening. -
Fleksibel, modulær konstruksjon
Kompatibel med tråddiametre fra 0,12–0,45 mm for ulike skjæreprosesser. Valgfri robothåndtering muliggjør helautomatiske produksjonslinjer. -
Pålitelighet i industriell kvalitet
Kraftige støpte/smidde rammer minimerer deformasjon (<0,01 mm). Styretrinser med keramiske eller karbidbelegg gir over 8000 timers levetid.
Bruksområder for diamantsagmaskin med flere tråder
-
HalvledereSkjæring av SiC for kraftmoduler for elbiler, GaN-substrater for 5G-enheter.
-
Fotovoltaisk energiHøyhastighets silisiumskiverskjæring med ±10 μm ensartethet.
-
LED og optikkSafirsubstrater for epitaksi og presisjonsoptiske elementer med <20 μm kantavskalling.
-
Avansert keramikkBearbeiding av alumina, AlN og lignende materialer for komponenter til luftfart og termisk styring.
Vanlige spørsmål – Diamantsagmaskin med flere tråder
Q1: Hva er fordelene med flertrådssaging sammenlignet med entrådsmaskiner?
A: Flertrådssystemer kan skjære dusinvis til hundrevis av wafere samtidig, noe som øker effektiviteten med 5–10 ganger. Materialutnyttelsen er også høyere med snitttap under 100 μm, noe som gjør det ideelt for masseproduksjon.
Q2: Hvilke typer materialer kan bearbeides?
A: Maskinen er konstruert for harde og sprø materialer, inkludert silisiumkarbid (SiC), safir, galliumnitrid (GaN), kvarts, alumina (Al₂O₃) og aluminiumnitrid (AlN).
Q3: Hva er oppnåelig nøyaktighet og overflatekvalitet?
A: Overflateruhet kan nå Ra <0,5 μm, med en dimensjonsnøyaktighet på ±0,02 mm. Kantavskalling kan kontrolleres til <20 μm, noe som oppfyller standarder for halvleder- og optoelektronikkindustrien.
Q4: Forårsaker skjæreprosessen sprekker eller skader?
A: Med høytrykkskjølevæske og lukket sløyfe for spenningskontroll minimeres risikoen for mikrosprekker og spenningsskader, noe som sikrer utmerket waferintegritet.
