English

Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering

Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering Utvalgt bilde
  • Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering
  • Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering
  • Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering
  • Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering
  • Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering
  • Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering
  • Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering
  • Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering
  • Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering
  • Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering
  • Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering
  • Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering
  • Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering
  • Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering
  • Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering
  • Høytytende endeeffektor av aluminakeramikk (gaffelarm) for halvleder- og renromsautomatisering

Kort beskrivelse:

Alumina Ceramic End Effector, også referert til som en keramisk gaffelarm eller robotisk keramisk hånd, er en høypresisjonshåndteringskomponent designet for automatiserte systemer i halvleder-, solcelle-, paneldisplay- og laboratoriemiljøer med høy renhet. Den er konstruert for å gi eksepsjonell termisk stabilitet, mekanisk stivhet og kjemisk motstand, og tilbyr ren, pålitelig og sikker transport av sensitive materialer som silisiumskiver, glasssubstrater og elektroniske mikrokomponenter.


Funksjoner

Detaljert diagram

14 - 副本
13 - 副本

Produktintroduksjon

Alumina Ceramic End Effector, også referert til som en keramisk gaffelarm eller robotisk keramisk hånd, er en høypresisjonshåndteringskomponent designet for automatiserte systemer i halvleder-, solcelle-, paneldisplay- og laboratoriemiljøer med høy renhet. Den er konstruert for å gi eksepsjonell termisk stabilitet, mekanisk stivhet og kjemisk motstand, og tilbyr ren, pålitelig og sikker transport av sensitive materialer som silisiumskiver, glasssubstrater og elektroniske mikrokomponenter.

Som en type robotisk endeeffektor er denne keramiske komponenten det endelige grensesnittet mellom automatiseringssystemet og arbeidsstykket. Den spiller en kritisk rolle i presisjonsoverføring, justering, lasting/lossing og posisjoneringsoppgaver i renrom og vakuummiljøer.

Materialoversikt – Alumina-keramikk (Al₂O₃)

Alumina-keramikk er et svært stabilt og kjemisk inert teknisk keramisk materiale kjent for sine utmerkede mekaniske og elektriske egenskaper. Den høyrente (≥ 99,5 %) aluminaen som brukes i disse endeeffektorene sikrer:

  • Høy hardhet (Mohs 9)Nest etter diamant gir alumina ekstrem slitestyrke.

  • HøytemperaturkapasitetOpprettholder strukturell integritet over 1600 °C.

  • Kjemisk inertitetMotstandsdyktig mot syrer, alkalier, løsemidler og plasmaetsingsmiljøer.

  • Elektrisk isolasjonMed høy dielektrisk styrke og lavt dielektrisk tap.

  • Lav termisk ekspansjonSikrer dimensjonsstabilitet i termiske sykliske miljøer.

  • Lav partikkelgenereringViktig for kompatibilitet med renrom (klasse 10 til klasse 1000).

Disse egenskapene gjør alumina-keramikk ideelt for virksomhetskritiske operasjoner i forurensningsfølsomme industrier.

Funksjonelle applikasjoner

Endeeffektoren av aluminakeramikk er mye brukt i høyteknologiske industrielle prosesser, spesielt der tradisjonelle metall- eller plastmaterialer ikke holder mål på grunn av termisk ekspansjon, forurensning eller korrosjonsproblemer. Viktige bruksområder inkluderer:

    • Overføring av halvlederwafere
    • Fotolitografiske laste- og lossesystemer
    • Håndtering av glasssubstrat i OLED- og LCD-linjer
    • Overføring av krystallinsk silisiumskiver i solcelleproduksjon
    • Automatisert optisk eller mikroelektronisk inspeksjon
    • Prøvetransport i analytiske eller biomedisinske laboratorier
    • Automatiseringssystemer for vakuummiljøer

Evnen til å fungere uten å introdusere partikler eller statisk elektrisitet gjør den uunnværlig for presise robotoperasjoner i renromsautomatisering.

18462c4d3a7015c8fc7d02202b40331b

Designfunksjoner og tilpasning

Hver keramiske endeeffektor er konstruert for å passe til en spesifikk robotarm eller et waferhåndteringssystem. Vi støtter full tilpasning basert på:

  • Kompatibilitet med waferstørrelser: 2", 4", 6", 8", 12" og mer

  • Sporgeometri og avstandTilpasser kantgrep, støtte baksiden eller hakkete waferdesign

  • SugeporterIntegrerte vakuumhull eller -kanaler for berøringsfri håndtering

  • MonteringskonfigurasjonHull, gjenger og spor skreddersydd til robotens endeverktøyflens

  • OverflatebehandlingPolert, lappet eller finslipt overflate (Ra < 0,2 µm tilgjengelig)

  • KantbeskyttelseAvrundede hjørner eller avfasing for å unngå skade på skiven

Ved å bruke CAD-tegninger eller 3D-modeller levert av kunder, kan ingeniørene våre optimalisere hver gaffelarm for vekt, styrke og renslighet.

no_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Fordeler med keramiske endeeffektorer

Trekk Fordel
Høy mekanisk stivhet Opprettholder dimensjonal presisjon under robotbelastningskrefter
Utmerket termisk ytelse Fungerer pålitelig i miljøer med høy temperatur eller plasma
Null metallforurensning Ingen risiko for ionforurensning i kritisk halvlederbehandling
Lavfriksjonsoverflate Reduserer riperisiko på wafer- eller glasssubstrater
Antistatisk og ikke-magnetisk Tiltrekker seg ikke støv eller påvirker magnetisk følsomme komponenter
Lang levetid Overlegen slitestyrke i repeterende høyhastighetsautomatiseringssykluser
Ultraren kompatibilitet Egnet for ISO 14644 renrom (klasse 100 og lavere)

 

Sammenlignet med plast- eller aluminiumsarmer gir alumina-keramikk dramatisk forbedret kjemisk og fysisk stabilitet med minimale vedlikeholdskrav.

Eiendom Metallarm Plastarm Alumina keramisk arm
Hardhet Moderat Lav Svært høy (Mohs 9)
Termisk stabilitet ≤ 500 °C ≤ 150 °C ≥ 1600 °C
Kjemisk motstand Moderat Fattig Glimrende
Egnethet for renrom Medium Lav Svært høy
Slitasjemotstand Medium Lav Utestående
Dielektrisk styrke Lav Medium Høy
Tilpasset maskineringspresisjon Begrenset Moderat Høy (±0,01 mm mulig)

Tekniske spesifikasjoner

Parameter Verdi
Materiale Høyrent aluminiumoksyd (≥ 99,5 %)
Arbeidstemperatur Opptil 1600°C
Overflateruhet Ra ≤ 0,2 µm (valgfritt)
Kompatible waferstørrelser 2" til 12" eller tilpasset
Flathetstoleranse ±0,01 mm (avhengig av bruksområde)
Støtte for vakuumsuging Valgfrie, tilpassbare kanaler
Monteringsalternativer Gjennombolting, flens, slissede hull

 

Ofte stilte spørsmål (FAQ)

Q1: Kan slutteffektoren integreres i eksisterende robotsystemer?
A1:Ja. Vi støtter tilpasning basert på robotgrensesnittet ditt. Du kan sende oss en CAD-tegning eller flensdimensjoner for presis tilpasning.

Q2: Vil keramiske armer lett knekke under bruk?
A2:Selv om keramikk er sprøtt av natur, bruker designene våre optimalisert geometri for å minimere spenningskonsentrasjon. Under riktige bruksforhold gir de betydelig lengre levetid enn metall eller plast.

Q3: Er det mulig å bruke dette i ultrahøyvakuum- eller plasmaetsningskamre?
A3:Ja. Alumina-keramikk avgir ikke gass, er termisk stabilt og korrosjonsbestandig – perfekt egnet for miljøer med høyt vakuum, reaktiv gass eller plasma.

Q4: Hvordan rengjøres eller vedlikeholdes disse komponentene?
A4:De kan rengjøres med avjonisert vann, alkohol eller rengjøringsmidler som er kompatible med renrom. På grunn av deres kjemiske stabilitet og inerte overflate er det ikke nødvendig med spesielt vedlikehold.

Om oss

XKH spesialiserer seg på høyteknologisk utvikling, produksjon og salg av spesialoptisk glass og nye krystallmaterialer. Produktene våre brukes til optisk elektronikk, forbrukerelektronikk og militæret. Vi tilbyr optiske safirkomponenter, mobiltelefonlinsedeksler, keramikk, LT, silisiumkarbid SIC, kvarts og halvlederkrystallwafere. Med dyktig ekspertise og banebrytende utstyr utmerker vi oss innen ikke-standard produktbehandling, med mål om å være en ledende høyteknologisk bedrift innen optoelektroniske materialer.

567
  • Tidligere:
  • Neste:

    • Relaterte produkter

    Skriv meldingen din her og send den til oss
    Trykk enter for å søke eller ESC for å lukke