6-tommers / 8-tommers POD / FOSB fiberoptisk skjøteboks Leveringsboks Oppbevaringsboks RSP ekstern serviceplattform FOUP frontåpning Unified Pod
Detaljert diagram


Oversikt over FOSB

DeFOSB (forsendelseseske med åpning foran)er en presisjonskonstruert beholder med frontåpning som er spesielt utviklet for sikker transport og lagring av 300 mm halvlederwafere. Den spiller en kritisk rolle i å beskytte wafere under overføringer mellom fabrikker og langdistansetransport, samtidig som den sikrer at de høyeste nivåene av renslighet og mekanisk integritet opprettholdes.
FOSB er produsert av ultrarene, statisk dissipative materialer og konstruert i henhold til SEMI-standarder, og tilbyr eksepsjonell beskyttelse mot partikkelforurensning, statisk utladning og fysisk støt. Den er mye brukt i global halvlederproduksjon, logistikk og OEM/OSAT-partnerskap, spesielt i de automatiserte produksjonslinjene til 300 mm waferfabrikker.
Struktur og materialer til FOSB
En typisk FOSB-boks består av flere presisjonsdeler, alle designet for å fungere sømløst med fabrikkautomatisering og sikre wafersikkerhet:
-
HoveddelStøpt av høyrens teknisk plast som PC (polykarbonat) eller PEEK, som gir høy mekanisk styrke, lav partikkelgenerering og kjemisk motstand.
-
Dør som åpnes foranUtviklet for full automatiseringskompatibilitet; har tette pakninger som sikrer minimal luftutskiftning under transport.
-
Internt retikkel-/waferbrettPlass til opptil 25 wafere sikkert. Brettet er antistatisk og polstret for å forhindre at waferen forskyver seg, at kantene fliser eller riper.
-
LåsemekanismeSikkerhetslåsesystem sikrer at døren forblir lukket under transport og håndtering.
-
SporbarhetsfunksjonerMange modeller inkluderer innebygde RFID-brikker, strekkoder eller QR-koder for full MES-integrasjon og sporing gjennom hele logistikkkjeden.
-
ESD-kontrollMaterialene er statisk elektrisitetsavledende, vanligvis med en overflateresistivitet mellom 10⁶ og 10⁹ ohm, noe som bidrar til å beskytte wafere mot elektrostatisk utladning.
Disse komponentene produseres i renromsmiljøer og oppfyller eller overgår internasjonale SEMI-standarder som E10, E47, E62 og E83.
Viktige fordeler
● Høynivå waferbeskyttelse
FOSB-er er bygget for å beskytte wafere mot fysisk skade og miljøforurensninger:
-
Fullstendig lukket, hermetisk forseglet system blokkerer fuktighet, kjemiske gasser og luftbårne partikler.
-
Vibrasjonsdempende innvendig materiale reduserer risikoen for mekaniske støt eller mikrosprekker.
-
Stivt ytre skall tåler fall og stabletrykk under logistikk.
● Full automatiseringskompatibilitet
FOSB-er er konstruert for bruk i AMHS (automatiserte materialhåndteringssystemer):
-
Kompatibel med SEMI-kompatible robotarmer, lasteporter, lagrere og åpnere.
-
Frontåpningsmekanismen er tilpasset standard FOUP- og lasteportsystemer for sømløs fabrikkautomatisering.
● Renromsklar design
-
Produsert av ultrarene materialer med lav gassutskillelse.
Lett å rengjøre og gjenbruke; egnet for renromsmiljøer i klasse 1 eller høyere.
Fri for tungmetallioner, noe som sikrer ingen forurensning under waferoverføring.
● Intelligent sporing og MES-integrasjon
-
Valgfrie RFID/NFC/strekkodesystemer gir full sporbarhet fra fabrikk til fabrikk.
Hver FOSB kan identifiseres og spores unikt i MES- eller WMS-systemet.
Støtter prosessgjennomsiktighet, batchidentifikasjon og lagerkontroll.
FOSB-boks – Kombinert spesifikasjonstabell
Kategori | Punkt | Verdi |
---|---|---|
Materialer | Waferkontakt | Polykarbonat |
Materialer | Skall, dør, dørpute | Polykarbonat |
Materialer | Bakre holder | Polybutylentereftalat |
Materialer | Håndtak, automatisk flens, informasjonsblokker | Polykarbonat |
Materialer | Pakning | Termoplastisk elastomer |
Materialer | KC-plate | Polykarbonat |
Spesifikasjoner | Kapasitet | 25 vafler |
Spesifikasjoner | Dybde | 332,77 mm ±0,1 mm (13,10" ±0,005") |
Spesifikasjoner | Bredde | 389,52 mm ±0,1 mm (15,33" ±0,005") |
Spesifikasjoner | Høyde | 336,93 mm ±0,1 mm (13,26" ±0,005") |
Spesifikasjoner | 2-pakningslengde | 680 mm (26,77 tommer) |
Spesifikasjoner | 2-pakningsbredde | 415 mm (16,34 tommer) |
Spesifikasjoner | 2-pakningshøyde | 365 mm (14,37 tommer) |
Spesifikasjoner | Vekt (tom) | 4,6 kg (10,1 lb) |
Spesifikasjoner | Vekt (full) | 7,8 kg (17,2 lb) |
Waferkompatibilitet | Waferstørrelse | 300 mm |
Waferkompatibilitet | Tonehøyde | 10,0 mm (0,39 tommer) |
Waferkompatibilitet | Fly | ±0,5 mm (0,02") fra nominell |
Søknadsscenarier
FOSB-er er viktige verktøy i logistikk og lagring av 300 mm wafere. De er bredt tatt i bruk i følgende scenarier:
-
Overføringer fra fabrikk til fabrikkFor flytting av wafere mellom forskjellige halvlederfabrikker.
-
Leveranser til støperierTransport av ferdige wafere fra fabrikk til kunde eller pakkeanlegg.
-
OEM/OSAT-logistikkI outsourcede pakke- og testprosesser.
-
Tredjeparts lagring og lagringSikker langtids- eller midlertidig lagring av verdifulle wafere.
-
Interne waferoverføringerI store fabrikkområder der eksterne produksjonsmoduler er koblet til via AMHS eller manuell transport.
I globale forsyningskjedeoperasjoner har FOSB-er blitt standarden for transport av høyverdige wafere, noe som sikrer kontamineringsfri levering på tvers av kontinenter.
FOSB vs. FOUP – Hva er forskjellen?
Trekk | FOSB (forsendelseseske med åpning foran) | FOUP (Frontåpningsenhet) |
---|---|---|
Primærbruk | Inter-fab waferfrakt og logistikk | Waferoverføring og automatisert prosessering i fabrikken |
Struktur | Stiv, forseglet beholder med ekstra beskyttelse | Gjenbrukbar pod optimalisert for intern automatisering |
Lufttetthet | Høyere tetningsytelse | Designet for enkel tilgang, mindre lufttett |
Bruksfrekvens | Middels (fokusert på sikker langdistansetransport) | Høyfrekvent i automatiserte produksjonslinjer |
Waferkapasitet | Vanligvis 25 vafler per eske | Vanligvis 25 wafere per pod |
Automatiseringsstøtte | Kompatibel med FOSB-åpnere | Integrert med FOUP-lasteporter |
Samsvar | SEMI E47, E62 | SEMI E47, E62, E84 og flere |
Selv om begge spiller en kritisk rolle i waferlogistikk, er FOSB-er spesialbygd for robust frakt mellom fabrikker eller til eksterne kunder, mens FOUP-er er mer fokusert på automatisert effektivitet i produksjonslinjen.
Ofte stilte spørsmål (FAQ)
Q1: Kan FOSB-er brukes om igjen?
Ja. Høykvalitets FOSB-er er designet for gjentatt bruk og tåler dusinvis av rengjørings- og håndteringssykluser hvis de vedlikeholdes riktig. Regelmessig rengjøring med sertifiserte verktøy anbefales.
Q2: Kan FOSB-er tilpasses for merkevarebygging eller sporing?
Absolutt. FOSB-er kan tilpasses med kundelogoer, spesifikke RFID-brikker, fuktsikring og til og med forskjellige fargekodinger for enklere logistikkhåndtering.
Q3: Er FOSB-er egnet for renromsmiljøer?
Ja. FOSB-er er produsert av ren plast og forseglet for å forhindre partikkeldannelse. De er egnet for renromsmiljøer i klasse 1 til klasse 1000 og kritiske halvledersoner.
Q4: Hvordan åpnes FOSB-er under automatisering?
FOSB-er er kompatible med spesialiserte FOSB-åpnere som fjerner inngangsdøren uten manuell kontakt, og opprettholder integriteten til renromsforholdene.
Om oss
XKH spesialiserer seg på høyteknologisk utvikling, produksjon og salg av spesialoptisk glass og nye krystallmaterialer. Produktene våre brukes til optisk elektronikk, forbrukerelektronikk og militæret. Vi tilbyr optiske safirkomponenter, mobiltelefonlinsedeksler, keramikk, LT, silisiumkarbid SIC, kvarts og halvlederkrystallwafere. Med dyktig ekspertise og banebrytende utstyr utmerker vi oss innen ikke-standard produktbehandling, med mål om å være en ledende høyteknologisk bedrift innen optoelektroniske materialer.
