Alumina keramisk endeeffektor / gaffelarm for håndtering av wafere og substrater

Kort beskrivelse:

Alumina Ceramic End Effector, ofte referert til som en keramisk gaffelarm eller keramisk griper, er et kritisk verktøy som brukes i robotautomatisering og produksjonslinjer for renrom. Denne komponenten er installert på robotarmen som det endelige grensesnittet mot produktet, og er ansvarlig for å plukke, holde, justere og overføre svært følsomme deler som silisiumskiver, glasspaneler eller mikroelektroniske komponenter.

Send e-post til oss

Funksjoner

Detaljert diagram

keramisk arm for wafer-driver av halvledere-02 - 副本

Oversikt over keramisk endeeffektor av aluminiumoksid

Alumina Ceramic End Effector, ofte referert til som en keramisk gaffelarm eller keramisk griper, er et kritisk verktøy som brukes i robotautomatisering og produksjonslinjer for renrom. Alumina Ceramic End Effector er installert på robotarmen som det endelige grensesnittet mot produktet, og er ansvarlig for å plukke, holde, justere og overføre svært følsomme deler som silisiumskiver, glasspaneler eller mikroelektroniske komponenter.

Denne gaffelarmen er produsert av ultraren alumina-keramikk (Al2O3), og gir en usedvanlig ren og stabil løsning for miljøer der metallforurensning, plastisk deformasjon eller partikkelgenerering ikke tolereres.

Materialegenskaper – Hvorfor aluminiumoksyd

Om Alumina Keramisk End Effector, Alumina (Al2O3) er en av de mest etablerte og påliteligeavansert ingeniørkeramikkKvaliteten vi bruker (≥99,5 % renhet) tilbyr en unik kombinasjon av fysiske og kjemiske egenskaper som gjør den til det foretrukne materialet for halvleder- og vakuumapplikasjoner:

Ekstrem hardhet– Med en Mohs-hardhetsgrad på 9 tilbyr den langvarig holdbarhet og ripebestandighet.
Termisk utholdenhet– Opprettholder strukturell integritet utover 1600 °C, og overgår tilsvarende metall- og polymerprodukter.
Elektrisk isolasjon– Eliminerer statisk elektrisitet og gir full dielektrisk beskyttelse.
Kjemisk immunitet– Upåvirket av syrer, alkalier, plasmagasser og aggressive rengjøringsløsninger.
Ultralav forurensningsrisiko– Ikke-avgassingende overflate med lav friksjon som minimerer partikkelutslipp i renrom.

Disse egenskapene gjør at endeeffektorer av alumina-keramikk kan fungere feilfritt i tøffe miljøer med høy presisjon.

Kjerneapplikasjoner av aluminiumoksidkeramisk endeeffektor

Allsidigheten til endeeffektorgaffelarmer av aluminakeramikk gjør dem essensielle i en rekke høyteknologiske bransjer:

Halvlederwafertransportsystemer– Sikker flytting av silisiumskiver fra prosess til prosess uten mikroriper.
Produksjon av flatskjermer– Håndtering av skjøre glassunderlag for OLED-, LCD- eller microLED-produksjon.
Fotovoltaisk (PV) produksjon– Støtte for lasting og lossing av solwafere under robotsykluser med høy hastighet.
Montering av optiske og elektroniske komponenter– Griper sensitive deler som sensorer, motstander og miniatyrbrikker.
Støvsuger- og renromsautomatisering– Utføre presisjonsoppgaver under ultrarene, partikkelkontrollerte forhold.

I alle scenarioer utgjør den keramiske endeeffektoren av aluminiumoksid den avgjørende koblingen mellom robotautomatisering og produktet som flyttes.

Design- og tilpasningsalternativer for keramisk endeeffektor av aluminiumoksid

Hver produksjonslinje har unike krav. Derfor tilbyr vi skreddersydde keramiske endeeffektorløsninger for alumina for ulike waferstørrelser, robotsystemer og håndteringsmetoder:

Waferkompatibilitet: Håndterer wafere fra 2” til 12” og kan skaleres for tilpassede deler.

Geometrialternativer: Enkel gaffel, dobbel gaffel, flerspors eller tilpassede former med integrerte fordypninger.

Vakuumhåndtering: Valgfrie vakuumsugekanaler for kontaktløs waferstøtte.

Monteringsgrensesnitt: Tilpassede bolthull, flenser eller slissede design som passer til enhver robotarm.

Overflatebehandlinger: Polerte eller superbehandlede overflater (ned til Ra < 0,15 μm).

Kantprofiler: Avfasede eller avrundede kanter for maksimal waferbeskyttelse.

Vårt ingeniørteam for alumina-keramiske endeeffektorer kan jobbe ut fra kundens CAD-tegninger eller prøvedeler, noe som sikrer sømløs integrering i eksisterende automatiseringssystemer.

Viktige fordeler med endeeffektorer av aluminakeramikk

Trekk	Hvorfor det er viktig
Dimensjonal presisjon	Holder perfekt justering selv i repeterende sykluser med høy hastighet.
Ikke-forurensende	Produserer så godt som ingen partikler, og oppfyller dermed strenge krav til renrom.
Varme- og korrosjonsbestandig	Tåler aggressive prosesseringstrinn og termiske sjokk.
Ingen statisk ladning	Beskytter sensitive wafere og komponenter mot elektrostatisk risiko.
Lett, men stiv	Gir høy stivhet uten at det går på bekostning av robotarmens belastning.
Forlenget levetid	Overgår metall- og polymerarmer når det gjelder levetid og pålitelighet.

Materialsammenligning av aluminiumoksidkeramisk endeeffektor

Attributt	Plastgaffelarm	Gaffelarm i aluminium/metall	Gaffelarm av aluminiumoksid i keramisk materiale
Hardhet	Lav	Medium	Svært høy
Termisk rekkevidde	≤ 150 °C	≤ 500 °C	Opptil 1600°C
Kjemisk stabilitet	Fattig	Moderat	Glimrende
Renromsvurdering	Lav	Gjennomsnittlig	Ideell for klasse 100 eller bedre
Slitasjemotstand	Begrenset	God	Utestående
Tilpasningsnivå	Moderat	Begrenset	Omfattende

Ofte stilte spørsmål (FAQ) om keramisk endeeffektor av aluminiumoksid

Q1: Hva skiller en endeeffektor av alumina-keramikk fra en av metall?
A1:I motsetning til aluminium- eller stålarmer korroderer, deformeres eller introduserer ikke aluminakeramikk metallioner i halvlederprosesser. Det forblir dimensjonsstabilt under ekstreme forhold og frigjør praktisk talt ingen partikler.

Q2: Kan disse keramiske endeeffektorene av alumina brukes i høyvakuum- og plasmakamre?
A2:Ja. Alumina-keramikk erikke-avgassingog plasmabestandig, noe som gjør det til et foretrukket materiale for vakuumprosessering og etseutstyr.

Q3: Hvor tilpassbare er disse gaffelarmene fra Alumina Ceramic End Effector?
A3:Hver enhet kan værefullt tilpasset– inkludert form, spor, sugehull, monteringsstil og kantfinish – for å matche robotsystemets krav.

Q4: Er de skjøre?
A4:Selv om keramikk har naturlig sprøhet, fordeler vår designteknikk belastningen jevnt og minimerer stresspunkter. Ved riktig håndtering overstiger levetiden ofte levetiden til metall- eller polymeralternativer.

Om oss

XKH spesialiserer seg på høyteknologisk utvikling, produksjon og salg av spesialoptisk glass og nye krystallmaterialer. Produktene våre brukes til optisk elektronikk, forbrukerelektronikk og militæret. Vi tilbyr optiske safirkomponenter, mobiltelefonlinsedeksler, keramikk, LT, silisiumkarbid SIC, kvarts og halvlederkrystallwafere. Med dyktig ekspertise og banebrytende utstyr utmerker vi oss innen ikke-standard produktbehandling, med mål om å være en ledende høyteknologisk bedrift innen optoelektroniske materialer.