8-tommers silisiumskive P/N-type (100) 1-100Ω dummy-gjenvinningssubstrat
Introduksjon av waferboks
8-tommers silisiumskiver er et vanlig brukt silisiumsubstratmateriale og er mye brukt i produksjonsprosessen for integrerte kretser. Slike silisiumskiver brukes ofte til å lage ulike typer integrerte kretser, inkludert mikroprosessorer, minnebrikker, sensorer og andre elektroniske enheter. 8-tommers silisiumskiver brukes ofte til å lage brikker av relativt store størrelser, med fordeler som et større overflateareal og muligheten til å lage flere brikker på en enkelt silisiumskiver, noe som fører til økt produksjonseffektivitet. 8-tommers silisiumskiver har også gode mekaniske og kjemiske egenskaper, noe som er egnet for storskala integrerte kretsproduksjon.
Produktfunksjoner
8" P/N-type, polert silisiumskive (25 stk.)
Orientering: 200
Resistivitet: 0,1–40 ohm•cm (Kan variere fra batch til batch)
Tykkelse: 725 +/- 20 um
Prime/Skjerm/Testkarakter
MATERIALEGENSKAPER
Parameter | Karakteristisk |
Type/Dopant | P, bor N, fosfor N, antimon N, arsenikk |
Orienteringer | <100>, <111> avskjæringsretninger i henhold til kundens spesifikasjoner |
Oksygeninnhold | 1019ppmA Tilpassede toleranser i henhold til kundens spesifikasjoner |
Karboninnhold | < 0,6 ppmA |
MEKANISKE EGENSKAPER
Parameter | Prime | Overvåk/test A | Test |
Diameter | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Tykkelse | 725±20µm (standard) | 725 ± 25 µm (standard) 450 ± 25 µm 625 ± 25 µm 1000±25µm 1300 ± 25 µm 1500±25 µm | 725±50µm (standard) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Bue | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Pakk inn | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Kantavrunding | SEMI-STD | ||
Merking | Kun primær halvleilighet, halvleiligheter i standard Jeida-leilighet, hakk |
Parameter | Prime | Overvåk/test A | Test |
Kriterier for forsiden | |||
Overflatetilstand | Kjemisk Mekanisk Polert | Kjemisk Mekanisk Polert | Kjemisk Mekanisk Polert |
Overflateruhet | < 2°C | < 2°C | < 2°C |
Forurensning Partikler ved >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Dis, groper Appelsinskall | Ingen | Ingen | Ingen |
Sag, merker Striasjoner | Ingen | Ingen | Ingen |
Kriterier for baksiden | |||
Sprekker, kråketær, sagmerker, flekker | Ingen | Ingen | Ingen |
Overflatetilstand | Etsende etset |
Detaljert diagram


