8-tommers silisiumplate P/N-type (100) 1-100Ω dummy gjenvinningssubstrat
Introduser oblatboks
Den 8-tommers silisiumplaten er et ofte brukt silisiumsubstratmateriale og er mye brukt i produksjonsprosessen av integrerte kretser. Slike silisiumskiver brukes ofte til å lage ulike typer integrerte kretser, inkludert mikroprosessorer, minnebrikker, sensorer og andre elektroniske enheter. 8-tommers silisiumskiver brukes ofte til å lage brikker av relativt store størrelser, med fordeler inkludert et større overflateareal og muligheten til å lage flere brikker på en enkelt silisiumplate, noe som fører til økt produksjonseffektivitet. Den 8-tommers silisiumplaten har også gode mekaniske og kjemiske egenskaper, som egner seg for storskala integrert kretsproduksjon.
Produktfunksjoner
8" P/N-type, polert silisiumplate (25 stk)
Orientering: 200
Resistivitet: 0,1 - 40 ohm•cm (det kan variere fra batch til batch)
Tykkelse: 725+/-20um
Prime/Monitor/Testkarakter
MATERIALEGENSKAPER
Parameter | Karakteristisk |
Type/Doant | P, Bor N, Fosfor N, Antimon N, Arsen |
Orienteringer | <100>, <111> skjærer av orienteringer i henhold til kundens spesifikasjoner |
Oksygeninnhold | 1019ppmA Egendefinerte toleranser per kundes spesifikasjon |
Karboninnhold | < 0,6 ppmA |
MEKANISKE EGENSKAPER
Parameter | Prime | Monitor/test A | Test |
Diameter | 200±0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Tykkelse | 725±20 µm (standard) | 725±25 µm (standard) 450±25 µm 625±25 µm 1000±25 µm 1300±25 µm 1500±25 µm | 725±50 µm (standard) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Bue | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Pakk inn | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Kantavrunding | SEMI-STD | ||
Merking | Kun primær SEMI-Flat, SEMI-STD Flats Jeida Flat, Notch |
Parameter | Prime | Monitor/test A | Test |
Forsidekriterier | |||
Overflatetilstand | Kjemisk mekanisk polert | Kjemisk mekanisk polert | Kjemisk mekanisk polert |
Overflatens ruhet | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
Forurensning Partikler @ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Dis, groper Appelsinskall | Ingen | Ingen | Ingen |
Så, Marks Striasjoner | Ingen | Ingen | Ingen |
Baksidekriterier | |||
Sprekker, kråkeføtter, sagmerker, flekker | Ingen | Ingen | Ingen |
Overflatetilstand | Etsende etset |