6-tommers N-type eller P-type silisiumskive CZ Si-skive
Introduksjon av waferboks
Spesifikasjonene til silisiumskive:
6-tommers silisiumskivevekst: CZ, MCZ, FZ.
6 Silisiumwaferkvalitet: Prime, Test, Dummy, osv.
6-tommers silisiumskivediameter: 6 tommer / 150 mm.
6-tommers silisiumskivetykkelse: 200 ~ 3000 um.
6-tommers silisiumskivefinish: Som kuttet, overlappet, etset, SSP, DSP osv.
6-tommers silisiumskiveorientering: (100) (111) (110) (531) (553) osv.
6-tommers silisiumskive Avkutt: opptil 4 grader.
6-tommers silisiumskive Type/Dopant: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Intrinsic.
6-tommers silisiumwaferresistivitet: CZ/MCZ: Fra 0,001 til 1000 ohm-cm. FZ: opptil 20 k ohm-cm.
6-tommers tynne silisiumwaferfilmer: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. osv., beleggtykkelser opptil 20.000A/5%.
(b) LPCVD/PECVD: Oksid, nitrid, siC, osv., Beleggtykkelser opptil 200.000A/3%.
(c) Epitaksiale silisiumwafere og epitaksiale tjenester (SOS, GaN, GOI osv.).
6-tommers silisiumskiveprosesser: a.DSP, ultratynn, ultraflat, etc.
b. Nedskalering, baksliping, dicing osv.。c. MEMS.
Siden 2010 har Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd vært forpliktet til å tilby kundene omfattende 4-tommers wafer-silisiumwaferløsninger, fra feilsøkingsnivåwafere (Dummy Wafer), testnivåwafere (Test Wafer) til produktnivåwafere (Prime Wafer), samt spesialwafere, oksidwafere (Oxide), nitridwafere (Si3N4), aluminiumsbelagte wafere, kobberbelagte silisiumwafere, SOI-wafere, MEMS-glass, tilpassede ultratykke og ultraflate wafere, etc., med størrelser fra 50 mm til 300 mm. Vi kan tilby halvlederwafere med ensidig/dobbeltsidig polering, tynning, dicing, MEMS og andre prosesserings- og tilpasningstjenester.
Detaljert diagram


