4H-N/6H-N SiC-wafer Reasearch-produksjon Dummy-kvalitet Dia150 mm silisiumkarbidsubstrat

Kort beskrivelse:

Vi kan tilby høytemperatur superledende tynnfilmsubstrat, magnetiske tynnfilmer og ferroelektriske tynnfilmsubstrater, halvlederkrystaller, optiske krystaller og laserkrystallmaterialer, samtidig som vi tilbyr orientering, krystallskjæring, sliping, polering og andre prosesseringstjenester. Våre SiC-substrater kommer fra Tankeblue-fabrikken i Kina.

Send e-post til oss

Produktdetaljer

Produktetiketter

Spesifikasjon for silisiumkarbid (SiC)-substrat med en diameter på 6 tommer

Karakter	Null MPD	Produksjon	Forskningskarakter	Dummy-karakter
Diameter	150,0 mm ± 0,25 mm
Tykkelse	4H-N	350um ± 25um
	4H-SI	500µm ± 25µm
Waferorientering	På aksen: <0001> ± 0,5 ° for 4H-SI Utenfor aksen: 4,0° mot <1120> ± 0,5° for 4H-N
Primærleilighet	{10-10}±5,0°
Primær flat lengde	47,5 mm ± 2,5 mm
Kantekskludering	3 mm
TTV/Bøye/Varp	≤15um/≤40um/≤60um
Mikrorørtetthet	≤1 cm-2	≤5 cm-2	≤15 cm-2	≤50 cm-2
Resistivitet 4H-N 4H-SI	0,015~0,028Ω!cm
	≥1E5Ω!cm
Ruhet	Polsk Ra ≤1nm CMP Ra≤0,5nm
#Sprekker av høyintensivt lys	Ingen		1 tillatt, ≤2 mm	Kumulativ lengde ≤10 mm, enkelt lengde ≤2 mm
*Sekskantplater med høyintensivt lys	Kumulativt areal ≤1%		Kumulativt areal ≤ 2 %	Kumulativt areal ≤ 5 %
*Polytypiske områder med høyintensivt lys	Ingen		Kumulativt areal ≤ 2 %	Kumulativt areal ≤ 5 %
*&Riper fra høyintensivt lys	3 riper til 1 x waferdiameterens kumulative lengde		5 riper til 1 x waferdiameterens kumulative lengde	5 riper til 1 x waferdiameterens kumulative lengde
Kantbrikke	Ingen		3 tillatt, ≤0,5 mm hver	5 tillatt, ≤1 mm hver
Forurensning av høyintensivt lys	Ingen

Salg og kundeservice

Innkjøp av materialer

Innkjøpsavdelingen for materialer er ansvarlig for å samle alle råvarene som trengs for å produsere produktet ditt. Fullstendig sporbarhet for alle produkter og materialer, inkludert kjemisk og fysisk analyse, er alltid tilgjengelig.

Kvalitet

Under og etter produksjon eller maskinering av produktene dine, er kvalitetskontrollavdelingen involvert i å sørge for at alle materialer og toleranser oppfyller eller overgår spesifikasjonene dine.

Service

Vi er stolte av å ha salgsingeniører med over 5 års erfaring i halvlederindustrien. De er opplært til å svare på tekniske spørsmål samt gi rettidige tilbud for dine behov.

Vi er ved din side når som helst du har et problem, og løser det innen 10 timer.