2 tommers SiC-skiver 6H eller 4H halvisolerende SiC-underlag Dia50,8 mm
Påføring av silisiumkarbidsubstrat
Silisiumkarbidsubstrat kan deles inn i ledende type og halvisolerende type i henhold til resistivitet. Ledende silisiumkarbidenheter brukes hovedsakelig i elektriske kjøretøy, fotovoltaisk kraftproduksjon, jernbanetransport, datasentre, lading og annen infrastruktur. Elbilindustrien har en enorm etterspørsel etter ledende silisiumkarbidsubstrater, og for tiden har Tesla, BYD, NIO, Xiaopeng og andre nye energikjøretøyselskaper planlagt å bruke diskrete enheter eller moduler av silisiumkarbid.
Halvisolerte silisiumkarbidenheter brukes hovedsakelig i 5G-kommunikasjon, kjøretøykommunikasjon, nasjonale forsvarsapplikasjoner, dataoverføring, romfart og andre felt. Ved å dyrke galliumnitrid-epitaksiallaget på det halvisolerte silisiumkarbidsubstratet, kan den silisiumbaserte galliumnitrid-epitaksiale waferen gjøres videre til RF-mikrobølgeenheter, som hovedsakelig brukes i RF-feltet, som effektforsterkere i 5G-kommunikasjon og radiodetektorer i forsvaret.
Produksjonen av silisiumkarbidsubstratprodukter involverer utstyrsutvikling, råvaresyntese, krystallvekst, krystallskjæring, waferbehandling, rengjøring og testing og mange andre koblinger. Når det gjelder råvarer, leverer Songshan Boron-industrien silisiumkarbidråvarer til markedet, og har oppnådd små batch-salg. Tredje generasjons halvledermaterialer representert av silisiumkarbid spiller en nøkkelrolle i moderne industri, med akselerasjonen av penetrering av nye energikjøretøyer og solcelleapplikasjoner, er etterspørselen etter silisiumkarbidsubstrat i ferd med å innlede et vendepunkt.