12-tommers diameter 300 x 1,0 mm safirskivesubstrat C-plan SSP/DSP
Markedssituasjonen for 12-tommers safirsubstrat
For tiden har safir to hovedbruksområder, den ene er substratmaterialet, som hovedsakelig er LED-substratmateriale, den andre er urskive, luftfart, romfart, spesialproduksjonsvindumateriale.
Selv om silisiumkarbid, silisium og galliumnitrid også er tilgjengelige som substrater for LED-er i tillegg til safir, er masseproduksjon fortsatt ikke mulig på grunn av kostnader og noen uløste tekniske flaskehalser. Safirsubstratet har gjennom den tekniske utviklingen de siste årene blitt kraftig forbedret og fremmet med gittertilpasning, elektrisk ledningsevne, mekaniske egenskaper, termisk ledningsevne og andre egenskaper. Kostnadsfordelen er betydelig. Safir har derfor blitt det mest modne og stabile substratmaterialet i LED-industrien og har blitt mye brukt i markedet, med en markedsandel på så høy som 90 %.
Karakteristisk for 12-tommers safirwafersubstrat
1. Safirsubstratoverflater har et ekstremt lavt partikkeltall, med færre enn 50 partikler på 0,3 mikron eller større per 2 tommer i størrelsesområdet 2 til 8 tommer, og hovedmetallene (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn) under 2E10/cm2. Det 12-tommers basismaterialet forventes også å oppnå denne graden.
2. Kan brukes som bærerskive for 12-tommers halvlederproduksjonsprosess (transportpaller i enheten) og som substrat for binding.
3. Kan kontrollere formen på konkav og konveks overflate.
Materiale: Høyrenhetsenkeltkrystall Al2O3, safirplate.
LED-kvalitet, ingen bobler, sprekker, tvillinger, avstamning, ingen farge osv.
12-tommers safirskiver
| Orientering | C-plan<0001> +/- 1 grad. |
| Diameter | 300,0 +/-0,25 mm |
| Tykkelse | 1,0 +/-25µm |
| Hakk | Hakk eller flatt |
| TTV | <50µm |
| BUE | <50µm |
| Kanter | Beskyttende avfasning |
| Forside – polert 80/50 | |
| Lasermerke | Ingen |
| Emballasje | Enkel waferbæreboks |
| Forside Epi-klar polert (Ra <0,3nm) | |
| Baksiden er Epi-klar polert (Ra <0,3nm) | |
Detaljert diagram
