Silisiumkarbidsubstratet er delt inn i halvisolerende type og ledende type. For tiden er hovedspesifikasjonen for halvisolerte silisiumkarbidsubstratprodukter 4 tommer. I markedet for ledende silisiumkarbid er den nåværende produktspesifikasjonen for mainstream substrat 6 tommer.
På grunn av nedstrømsapplikasjoner i RF-feltet, er halvisolerte SiC-substrater og epitaksiale materialer underlagt eksportkontroll av det amerikanske handelsdepartementet. Halvisolert SiC som substrat er det foretrukne materialet for GaN heteroepitaxy og har viktige bruksmuligheter i mikrobølgefeltet. Sammenlignet med krystallmisforholdet til safir 14 % og Si 16,9 %, er krystallmisforholdet til SiC- og GaN-materialer bare 3,4 %. Sammen med den ultrahøye termiske ledningsevnen til SiC, har den høye energieffektive LED- og GaN-høyfrekvente og høyeffektsmikrobølgeenhetene laget av den store fordeler i radar, høyeffektsmikrobølgeutstyr og 5G-kommunikasjonssystemer.
Forskning og utvikling av halvisolert SiC-substrat har alltid vært fokus for forskning og utvikling av SiC-enkrystallsubstrat. Det er to hovedvansker med å dyrke halvisolerte SiC-materialer:
1) Reduser N-donor-urenheter introdusert av grafittdigel, termisk isolasjonsadsorpsjon og doping i pulver;
2) Mens kvaliteten og de elektriske egenskapene til krystallen sikres, introduseres et dypt nivåsenter for å kompensere gjenværende urenheter på grunne nivåer med elektrisk aktivitet.
For tiden er produsentene med halvisolert SiC-produksjonskapasitet hovedsakelig SICC Co，Semisic Crystal Co，Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
Den ledende SiC-krystallen oppnås ved å injisere nitrogen i den voksende atmosfæren. Ledende silisiumkarbidsubstrat brukes hovedsakelig i produksjon av kraftenheter, silisiumkarbidkraftenheter med høy spenning, høy strøm, høy temperatur, høy frekvens, lavt tap og andre unike fordeler, vil i stor grad forbedre den eksisterende bruken av silisiumbaserte kraftenheter energi konverteringseffektivitet, har en betydelig og vidtrekkende innvirkning på feltet effektiv energikonvertering. De viktigste bruksområdene er elbiler/ladepeler, solcelle ny energi, jernbanetransport, smart grid og så videre. Fordi nedstrøms av ledende produkter hovedsakelig er kraftenheter i elektriske kjøretøy, solcelleanlegg og andre felt, er applikasjonsutsiktene bredere, og produsentene er flere.
Silisiumkarbidkrystalltype: Den typiske strukturen til det beste 4H krystallinske silisiumkarbidet kan deles inn i to kategorier, den ene er den kubiske silisiumkarbidkrystalltypen sfalerittstruktur, kjent som 3C-SiC eller β-SiC, og den andre er den sekskantede eller diamantstruktur av den store periodestrukturen, som er typisk for 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC, etc., samlet kjent som α-SiC. 3C-SiC har fordelen av høy resistivitet i produksjonsenheter. Imidlertid kan det høye misforholdet mellom Si- og SiC-gitterkonstanter og termiske ekspansjonskoeffisienter føre til et stort antall defekter i 3C-SiC-epitaksiallaget. 4H-SiC har et stort potensiale i produksjon av MOSFET-er, fordi dens krystallvekst og epitaksiale lagvekstprosesser er mer utmerkede, og når det gjelder elektronmobilitet, er 4H-SiC høyere enn 3C-SiC og 6H-SiC, noe som gir bedre mikrobølgeegenskaper for 4H -SiC MOSFET-er.
Hvis det er brudd, kontakt slett
Innleggstid: 16-jul-2024